6" , 8" Open Cassette標準機型模組化機架，可依照客戶需求調整配置方式符合國際半導體設備SEMI S2安全規范符合RoHS規范，潔凈度最高可達ISO Class 1多種感測器偵測各項元件，即時監測設備狀態GUI介面軟體，可遠端操作指令，整合各裝置子系統，提供單一指令格式窗口
6" , 8" Open Cassette標準機型
模組化機架，可依照客戶需求調整配置方式
符合國際半導體設備SEMI S2安全規范
符合RoHS規范，潔凈度最高可達ISO Class 1
多種感測器偵測各項元件，即時監測設備狀態
GUI介面軟體，可遠端操作指令，整合各裝置子系統，提供單一指令格式窗口
