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HIWIN EFEM320-D01 晶圓移載系統

特征

  • 8”SMIF標準機型

  • 外置電控箱設計,機架內部空間最大化

  • 通過國際半導體設備SEMI S2安全認證

  • 符合RoHS規范,潔凈度最高可達ISO Class 1

  • 多種感測器偵測各項元件,即時監測設備狀態

  • 條碼、標簽及字元辨識,完整追蹤生產過程


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