產品中心--江蘇臺銀機電科技有限公司，臺灣上銀，大銀特約經銷商

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HIWIN EFEM320-D02 晶圓移載系統

特征

8" , 12" 標準機型
盤面式電控箱設計
通過國際半導體設備SEMI S2安全認證
符合RoHS規范，潔凈度最高可達ISO Class 1
多種感測器偵測各項元件，即時監測設備狀態
即時影像監控，條碼、標簽字元辨識，完整追蹤生產過程
提供客制化晶圓或其他基板搬運需求

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