8" , 12" 標準機型隱藏式電控箱、尋邊器設計，銜接窗口最大化通過國際半導體設備SEMI S2安全認證符合RoHS規范，潔凈度最高可達ISO Class 1多種傳感器偵測各項組件，實時監測設備狀態提供客制化晶圓或其他基板搬運需求自動壓力控制系統，透過環境壓力變化，調節風扇轉速保持設定值
8" , 12" 標準機型
隱藏式電控箱、尋邊器設計，銜接窗口最大化
通過國際半導體設備SEMI S2安全認證
符合RoHS規范，潔凈度最高可達ISO Class 1
多種傳感器偵測各項組件，實時監測設備狀態
提供客制化晶圓或其他基板搬運需求
自動壓力控制系統，透過環境壓力變化，調節風扇轉速保持設定值
