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HIWIN EFEM320-D03 晶圓移載系統

特征

  • 8" , 12" 標準機型

  • 隱藏式電控箱、尋邊器設計,銜接窗口最大化

  • 通過國際半導體設備SEMI S2安全認證

  • 符合RoHS規范,潔凈度最高可達ISO Class 1

  • 多種傳感器偵測各項組件,實時監測設備狀態

  • 提供客制化晶圓或其他基板搬運需求

  • 自動壓力控制系統,透過環境壓力變化,調節風扇轉速保持設定值


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